國家科技部已將IC裝備列入“十一五”科技攻關(guān)重大專項，列支39億元重點扶持通過自主創(chuàng)新所取得的高新技術(shù)項目。
　
　　經(jīng)過專家們的反復(fù)考評篩選，沈陽新松機器人自動化股份有限公司自主開發(fā)的硅片傳輸系統(tǒng)項目、中科院沈陽科學(xué)儀器研制中心研制的“等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備”項目、沈陽芯源先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司“半導(dǎo)體與集成電路制造專用勻膠顯影機”項目，獲得了國家科技部重大項目支持。

　　據(jù)悉，到目前為止，我市IC裝備制造產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新項目已獲得2億元的專項扶持�！�

新聞來源：沈陽日報